欧姆龙又上电视了!根据北京卫视报道,该厂商自主研发了高速集成电路制造的晶圆收线机,收线速度指标达到每小时300片以上,达到国际先进水平,成为国内第一台高速集成电路制造的晶圆收线机,打破了国际垄断。
晶圆翻转机是集成电路生产线上用于调整晶圆生产物料顺序位置的装置。它的任务是将生产线上的晶圆在下一道工序之前进行批量、合并和翻转,这就要求晶圆翻转机具有很高的传动效率和精度控制。
如何实现纳米级的高精度控制?
这种高速集成电路晶圆收卷机实现纳米级高精度控制的关键是欧姆龙可编程多轴运动控制器CK3M。可用于半导体和FPD制造和检查装置,实现曝光装置、线性编码器、点胶机和透镜检查装置的精确动作。
超高速同步控制
高级*1运动控制技术,伺服周期50μs/5轴。通过高速反馈控制,可以在精密加工中实现高精度的轨迹控制。
*1.截至2018年3月,公司调查结果
通过高速伺服回路实现高精度轨迹控制
通过高速接收反馈值并在命令值(目标值)中进行校正,实现了更接近设计值的轨迹控制。
欧姆龙以超高速伺服循环运行和高速高精度控制进入新领域。
压倒性的操作速度可以进一步实现客户端设备的高精度。
改进客户设备,突破限制障碍,引导设备发挥超高性能!
通过CK3M可以高精度控制精密机械。机构
将CK3M与高性能驱动器、光栅尺和精密机械相结合。机构该组合可以实现需要高速和高精度控制的各种应用。
广泛应用于精密直线电机驱动控制、纳米定位控制等要求超高速响应性能的尖端设备。
欧姆龙一直致力于解决生产中的问题,推动生产创新。尤其是欧姆龙的智能制造理念“i-Automation!集成(控制升级)于。为了实现更高质量、更高效率的生产,必须保证机械性能能够最大化,帮助客户实现高速、高精度控制!
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